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            光配向設備 —— LCD Cell段高端屏制造


            SPA255/20

            SPA245/10

            SPA200系列光配向設備主要應用于IPS TFT-LCD高端顯示屏的配向工藝,可替代傳統的摩擦配向設備。該系列設備能滿足4.5代、5代、6代或更高世代產線光配向制程需求。
               產品特征

            ● 優異的光學均勻性

            ● 精確的偏光角控制

            ● 良好的熱控制

            ● 優異的載臺性能

               主要技術參數
            型號 SPA245 SPA255
            波長 254nm/ 313nm/ 365nm 254nm/ 313nm/ 365nm
            偏光角精度 ±0.08° ±0.08°
            照度均勻性 < 5% < 5%
            基板尺寸 730mm×920mm 1100mm×1300mm
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