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            長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


            SOM245/10

            SOM255/10

            SOM200系列測量設備主要應用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工藝。其中,SOM200/10系列為長寸測量設備,又稱為長短寸測量設備或基板變形檢測設備或精密測長機,主要應用于長寸測量,兼容短寸測量,可選配光刻膠膜厚測量;SOM200/10A系列為關鍵尺寸測量設備,主要應用于短寸測量。該系列設備沿用高分辨率曝光機相關技術,可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各種基板的測量。
               產品特征

            ● 多功能測量

            ● 高測量精度

            ● 高測量效率

            ● 高效的溫度控制和高效潔凈系統

               主要技術參數

             型號

            SOM245

             SOM255

             SOM260

            基板尺寸

            730mm×920mm

            1100mm×1300mm

            1500mm×1850mm

            1300mm×1500mm

             TP測量重復性

            300nm

             300nm

            300nm

             TP測量復現性

            400nm

            500nm

            500nm

            CD/OL測量重復性

            30nm

            30nm

            30nm

            CD/OL測量復現性

            40nm

            40nm

            40nm

            Tact Time

            5 min

            6 min

            7 min

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