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        2. 長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


          SOM245/10

          SOM255/10

          SOM200系列測量設備主要應用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工藝。其中,SOM200/10系列為長寸測量設備,又稱為長短寸測量設備或基板變形檢測設備或精密測長機,主要應用于長寸測量,兼容短寸測量,可選配光刻膠膜厚測量;SOM200/10A系列為關鍵尺寸測量設備,主要應用于短寸測量。該系列設備沿用高分辨率曝光機相關技術,可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各種基板的測量。
             產品特征

          ● 多功能測量

          ● 高測量精度

          ● 高測量效率

          ● 高效的溫度控制和高效潔凈系統

             主要技術參數

           型號

          SOM245

           SOM255

           SOM260

          基板尺寸

          730mm×920mm

          1100mm×1300mm

          1500mm×1850mm

          1300mm×1500mm

           TP測量重復性

          300nm

           300nm

          300nm

           TP測量復現性

          400nm

          500nm

          500nm

          CD/OL測量重復性

          30nm

          30nm

          30nm

          CD/OL測量復現性

          40nm

          40nm

          40nm

          Tact Time

          5 min

          6 min

          7 min

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