<big id="9uzry"><td id="9uzry"><span id="9uzry"></span></td></big>

        <wbr id="9uzry"><pre id="9uzry"><dl id="9uzry"></dl></pre></wbr>
        <strike id="9uzry"></strike>

          <wbr id="9uzry"></wbr>
          <em id="9uzry"></em>
          <sub id="9uzry"><address id="9uzry"></address></sub><em id="9uzry"></em>

            600系列光刻機 —— IC前道制造


            SSA600/20

            SSC600/10

            SSB600/10

            SSX600系列步進掃描投影光刻機采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應調焦調平技術,以及高速高精的自減振六自由度工件臺掩模臺技術,可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關鍵層和非關鍵層的光刻工藝需求。該設備可用于8寸線或12寸線的大規模工業生產。
               主要技術參數
             型號  SSA600/20  SSC600/10  SSB600/10
             分辨率  90nm  110nm  280nm
             曝光光源  ArF excimer laser  KrF excimer laser  i-line mercury lamp
             鏡頭倍率  1:4  1:4  1:4
             硅片尺寸  200mm或300mm  200mm或300mm  200mm或300mm
            人人添人人妻人人爽夜欢视频,久久高清超碰AV热热久久,精品亚洲V国产在线观看,漂亮人妻当面被朋友玩弄