<track id="frfiq"><i id="frfiq"></i></track>

  • <s id="frfiq"><u id="frfiq"></u></s>
  • <optgroup id="frfiq"></optgroup>
      1. <acronym id="frfiq"></acronym>
      2. <track id="frfiq"><i id="frfiq"><del id="frfiq"></del></i></track>
      3. <span id="frfiq"></span><ol id="frfiq"><output id="frfiq"><nav id="frfiq"></nav></output></ol>

        <span id="frfiq"></span>
      4. <ruby id="frfiq"></ruby>
        300系列光刻機 —— LED、MEMS、Power Devices制造


        SSB300

        SSB380

        SSB320

        SSB300系列步進投影光刻機面向6英寸以下中小基底先進光刻應用領域,滿足HB-LED、MEMS和Power Devices等領域單面或雙面光刻工藝需求。
           產品特征

        ● 高分辨率,分辨率可達0.8μm

        ● 高速在線MAPPING技術

        ● 高精度拼接

        ● 多尺寸基底自適應切換

        ● 高產能

        ● 高精度套刻

        ● 完美匹配ALIGNER

           主要技術參數

         型號  SSB300  SSB320  SSB380
         分辨率  0.8μm 2μm  1.5μm
         曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
         基底尺寸 100/150 mm 100/150 mm 100/150mm
         工藝應用  支持LED PAD/PSS工藝 支持LED PAD工藝 支持LED PAD工藝

         可選配置

         背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

         背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

         背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

        亚洲国产在线精品国偷产拍,国产在线精品亚洲综合网,一个色综合国产色综合,学生的粉嫩小泬图片