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        2. 300系列光刻機 —— LED、MEMS、Power Devices制造


          SSB300

          SSB380

          SSB320

          SSB300系列步進投影光刻機面向6英寸以下中小基底先進光刻應用領域,滿足HB-LED、MEMS和Power Devices等領域單面或雙面光刻工藝需求。
             產品特征

          ● 高分辨率,分辨率可達0.8μm

          ● 高速在線MAPPING技術

          ● 高精度拼接

          ● 多尺寸基底自適應切換

          ● 高產能

          ● 高精度套刻

          ● 完美匹配ALIGNER

             主要技術參數

           型號  SSB300  SSB320  SSB380
           分辨率  0.8μm 2μm  1.5μm
           曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
           基底尺寸 100/150 mm 100/150 mm 100/150mm
           工藝應用  支持LED PAD/PSS工藝 支持LED PAD工藝 支持LED PAD工藝

           可選配置

           背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

           背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

           背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

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