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        2. 光配向設備 —— LCD Cell段高端屏制造


          SPA255/20

          SPA245/10

          SPA200系列光配向設備主要應用于IPS TFT-LCD高端顯示屏的配向工藝,可替代傳統的摩擦配向設備。該系列設備能滿足4.5代、5代、6代或更高世代產線光配向制程需求。
             產品特征

          ● 優異的光學均勻性

          ● 精確的偏光角控制

          ● 良好的熱控制

          ● 優異的載臺性能

             主要技術參數
          型號 SPA245 SPA255
          波長 254nm/ 313nm/ 365nm 254nm/ 313nm/ 365nm
          偏光角精度 ±0.08° ±0.08°
          照度均勻性 < 5% < 5%
          基板尺寸 730mm×920mm 1100mm×1300mm
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